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第840章 等等我可能有办法(第2页)

唐少辉虽然发现了这个现象,可是他不是学化学的,可没能力研究这些现象,研究工作都是化学专业的老师教授配合着搞的,对高振东提出来的方案,听是听清楚了,但是离听懂,就很远。

“高总工,这些东西有什么用?您给我说说,我自己是不太懂这方面的,我记下来,到时候我转述给搞化学的同志们的时候,他们也能及早掌握您的思路,工作做起来也顺畅一些。”

不懂就问。

此时的唐少辉,对高振东那是佩服得五体投地,他就听了听,想了想,就给了一个方案,别管能不能用,但是那份自信是假不了的。

唐少辉有种预感,高总工提出来的这个方案,多多少少都是有效的。

“先说硅酸盐吧,加它的原因,主要是与氢氟酸反应生成硅酸,以此抑制腐蚀反应的速度,解决你们说的反应速度过快的问题。”

唐少辉一边记,一边笑道:“啊,明白了,就是和反应抢原料嘛,懂了懂了。”

高总工说得简单明了,很容易懂,大道至简啊。

高振东笑着点点头:“对,就是这么个道理,至于双氧水,是解决两个问题,一是促进反应,增加孔洞的深度,二是利用双氧水易分解的特性,促进气泡从硅片表面脱离,解决你们说的气泡问题。”

唐少辉连忙记下来,听起来都很有道理的样子,也不知道高总工就这么想一小会儿是怎么想到的。

不过想起他刚才在高总工桌上看到的一本有机化学的书,他好像明白过来,高总工那是一直在不停的学习啊,至于有机化学和无机化学有多少联系,那不管,反正都是化学就对了。

“至于扩孔的反应速度问题,先放一边,你们不是有个除银工序嘛,也加双氧水!”

高振东把唐少辉整得有些蒙蔽,什么都加双氧水是吧?

“这一步,双氧水的易分解特性,产生的气泡对硅片起到漂洗作用,能够更干净的除掉银单质和银离子,同时银离子和双氧水生成的氢氧化银不稳定,容易分解生成水和氧化银,也能有助于沉积的银离子的去除。”

这么短的时间里,唐少辉和搞化学的同志,考虑不到这么深远,所以高振东干脆把他们这个短板补上。

唐少辉麻了,好吧,听起来好像也很有道理的样子。

“你刚才提到的扩孔阶段反应速度过快,容易造成凹孔过大,反而反射率会上升,这个问题啊,你们还是加双氧水,因为这一步不只是氢氟酸这种弱酸,还有硝酸这种强酸,此时,过氧化氢能抑制反应速度。”

又是双氧水!

唐少辉彻底麻了。

双氧水是万应灵丹是吧?

高振东补充了一句:“不过你们要注意一点,反射率太小也不是好事,会有热斑效应,反而就把事情办坏了。”

说到这里,他又想起来一个事情:“对了,如果除泡效果还是不好,你们可以用数万Hz的超声波,每隔一段时间,比如几十秒的样子,去冲击一下硅片,冲几秒就行,具体的时间你们在试验中调整。

但是切记,不能连续冲击,会对挖孔和扩孔反应产生影响的。”

这个好理解,用超声波把硅片抖一抖,把气泡抖下来,唐少辉在冲击中唯唯诺诺,如实记录。

至于其他的,高振东没有多干涉,自己手上的工艺文件不见得放到现在是最合适的,解决核心问题就行,其他的还是让同志们在现有环境下自行摸索比较好。

唐少辉被高振东的双氧水三连给整懵逼了,直到回到实验室,还有点昏戳戳的。

一位高校支援到课题组来的化学专业的同志,见他回来,兴冲冲的凑上去。

“唐工,汇报得怎么样?高总工同意我们走沉银这条路子了么?”

唐少辉点点头:“同意了,并且还给了我几个解决当前工艺问题的办法。

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